Types de nitrure de silicium

Types de nitrure de silicium
Étant donné que les propriétés du matériau dépendent fortement de la méthode de fabrication, le nitrure de silicium ne peut être considéré comme un matériau unique. Les trois principaux types de nitrure de silicium sont :

Nitrure de silicium lié par réaction (RBSN)
Nitrure de silicium pressé à chaud (HPSN)
Nitrures de silicium frittés (SSN)
Le nitrure de silicium lié par réaction est fabriqué par nitruration directe d'une poudre de silicium compactée et, en raison de la difficulté d'assurer une réaction complète, il est difficile d'obtenir une densité de composants élevée. Les densités habituelles sont comprises entre 2 300 et 2 700 kg.m-3, contre 3 200 kg.m-3 pour le nitrure de silicium pressé à chaud et fritté. La densité plus élevée confère aux matériaux HPSN et SSN de meilleures propriétés physiques et signifie qu'ils sont utilisés dans des applications plus exigeantes. La nitruration ne produit qu'un petit changement de volume, ce qui signifie que les composants RBSN n'ont pas besoin d'être usinés après la fabrication et que des formes complexes proches du résultat peuvent être produites en une seule étape de processus.