Que savez-vous sur le nitrure de silicium dans les substrats de nitrure de silicium?

2025-03-13

Aujourd'hui, laissez-moi vous présentersilicon nitrurede l'aspect performant.

Sur les propriétés physiques

Tout d'abord, les propriétés thermiques du nitrure de silicium. Il s'agit d'un matériau réfractaire à haute température sans point de fusion. Il se décompose vers 1900 ℃ sous une pression normale. Il a une forte résistance au fluage à haute pression. Le point d'adoucissement de la charge du nitrure de silicium fritté réactif sans liant peut atteindre 1800 ℃. Ensuite, il a une bonne conductivité thermique et un petit coefficient de dilatation thermique. Il a également une bonne isolation électrique, une petite constante diélectrique et une tension de dégradation élevée.

Sur les propriétés chimiques

Nitrure de siliciuma une bonne résistance à l'oxydation et ne réagit pas avec l'oxygène dans une atmosphère sèche en dessous de 800 ℃. De plus, il résiste à la corrosion en fusion des métaux et ne mouille pas la fonte des métaux élémentaires (sauf le cuivre) et n'est pas corrodé. Une autre caractéristique est qu'elle est facilement soluble dans l'acide hydrofluorique et ne fonctionne pas avec l'acide dilué.

Sur les propriétés mécaniques

Nitrure de siliciuma une bonne résistance à haute température. La résistance à haute température à 1200 ° C n'atténue pas beaucoup par rapport à la résistance à la température ambiante. De plus, sa vitesse de fluage à haute température est très faible. Tout cela est déterminé par la nature de fortes liaisons covalentes. Il a une dureté élevée, juste après quelques matériaux surhard tels que le diamant, le BN cubique, le B4C, etc. Il a également un coefficient de frottement faible et des propriétés d'auto-lubrification, similaires à la surface du métal huilé.

Ce qui précède est l'introduction d'aujourd'hui ànitrure de siliciumDes trois aspects des propriétés physiques, des propriétés chimiques et des propriétés mécaniques.


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